SENTECH SE 400 — это семейство лазерных эллипсометров, предназначенных для высокоточного определения толщины, показателя преломления и коэффициента экстинкции тонких прозрачных плёнок и подложек. Приборы серии SE 400 — это компактные настольные системы, широко используемые в микроэлектронике, фотовольтаике, науке о материалах и других областях.
🔬 Модельный ряд
Семейство SE 400 включает несколько моделей, адаптированных под конкретные задачи:
| Модель | Назначение | Ключевые особенности |
|---|---|---|
| SE 400 | Базовая модель для измерения толщины и оптических постоянных | Модульная система, двухлучевой поляризационный сканер |
| SE 400adv | Усовершенствованная модель для сверхтонких однослойных плёнок | Субангстремная точность (0.1 Å), многопозиционный гониометр (40–90°) |
| SE 401adv | In-situ версия для контроля процессов в реальном времени | Временное разрешение 40 мс, крепление на фланцы технологической камеры |
| SE 400adv PV | Специализированная версия для фотовольтаики (солнечные элементы) | Анализ шероховатых текстурированных поверхностей, более 510 установок по всему миру |
⚙️ Ключевые характеристики и возможности
-
Субангстремная точность: Стабилизированный HeNe-лазер (длина волны 632.8 нм) обеспечивает прецизионность измерения толщины сверхтонких однослойных плёнок на уровне 0.1 Å (0.01 нм). Точность измерения показателя преломления достигает тысячных долей.
-
Многоугловые измерения: Ручной гониометр с высокой точностью позиционирования позволяет проводить измерения под углами от 40° до 90° с шагом 5°. Это критически важно для определения показателя преломления и коэффициента экстинкции, а также для устранения неоднозначности при измерении толщины лазерным эллипсометром.
-
Высокая скорость измерения: Позволяет отслеживать рост плёнки в реальном времени, определять конечную точку процесса или проводить картирование образцов для оценки однородности.
-
Универсальность: Прибор подходит для работы с большинством типов плоских отражающих поверхностей — как поглощающих, так и прозрачных. В базовой комплектации используется автоматический коллимационный телескоп для точной юстировки.
📊 Технические параметры
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип | Лазерный эллипсометр (одна длина волны) |
| Источник света | Стабилизированный HeNe-лазер (632.8 нм) |
| Диапазон углов падения | 40° – 90° (шаг 5°) |
| Точность измерения толщины | 0.1 Å (0.01 нм) |
| Точность показателя преломления | ~0.001 (per mille accuracy) |
| Размер образца | Возможно картирование до 200 мм |
| In-situ версия (SE 401adv) | Временное разрешение 40 мс |
🖥 Программное обеспечение
Эллипсометры SE 400 поставляются с интуитивно понятным, ориентированным на рецепты программным обеспечением. В него входит обширный пакет предустановленных приложений, подходящий как для научно-исследовательских задач, так и для контроля качества в производственной среде. Программное обеспечение позволяет отображать, сохранять и оптимизировать параметры измерений.
🏭 Области применения
Благодаря своей гибкости и точности, эллипсометры SENTECH SE 400 находят применение в широком спектре отраслей:
-
Микроэлектроника: контроль толщины диэлектрических слоёв, фоторезистов.
-
Фотовольтаика (SE 400adv PV): анализ антиотражающих покрытий (SiNx, ITO, TiO₂), тонких пассивирующих слоёв (SiO₂, Al₂O₃) на текстурированных кремниевых пластинах.
-
Наука о материалах: измерение оптических постоянных тонких плёнок, полимеров.
-
Биомедицина и науки о жизни: характеризация биосенсоров и биоплёнок.
-
Дисплейные технологии: контроль прозрачных проводящих слоёв.
-
Металлообработка: анализ защитных и декоративных покрытий.
💡 Опции и аксессуары
SENTECH предлагает широкий выбор опций для расширения функциональности SE 400adv:
-
Автоматический XY-столик для картирования образцов (до 200 мм)
-
Жидкостная ячейка для in-situ измерений
-
Видеокамера для визуализации области измерения
-
Автофокус для упрощения работы
-
Программное обеспечение для моделирования и симуляции
-
Сертифицированные калибровочные пластины