Негативный электронный резист — это полимерный материал, чья растворимость в определённом проявителе понижается в областях, облучённых электронным пучком. Его основное назначение — формирование защитного рисунка там, где требуется высокая химическая и плазменная стойкость.

— Принцип работы и назначение

При экспонировании электронный пучок вызывает образование поперечных связей между соседними полимерными цепями (процесс сшивания ). Это приводит к образованию плотной трёхмерной сетки, которая становится нерастворимой в проявителе. В результате в проявителе удаляются только неэкспонированные области, а на подложке остаётся рисунок из облучённого, стойкого резиста, в точности повторяющий траекторию электронного луча.

Основные задачи в технологии:

• Создание стойких к травлению масок для глубокого травления кремния, кварца или металлов.

• Формирование постоянных полимерных структур (например, для микрофлюидных каналов или элементов MEMS).

• Применение в процессах, где требуется высокая адгезия и стабильность резиста при агрессивных последующих операциях (ионная имплантация, длительное травление).