Фоторезист — polyketon
Фоторезист

ВПР-13, ИМА-5 — есть образцы негативных и позитивных патент номер  RU2692678C1

АОП-на 193нм аналог BARC Arf, BARC -248 (KARC)

Фоторезисты для  i-line 365nm  на стадии НИР — экспериментальные образцы

Ренгенрезисты (на стадии НИР)

PGME — ULSI   очистка до менее 0.3 ppb

PGMEA — ULSI   очистка до менее 0.3 ppb